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【行业动态 】
如何对磁控溅射进行分类
2023-03-15
临沂双成电源科技有限公司
【行业动态 】
磁控溅射的三个运行条件是什么
2023-01-12
磁控气体放电开始溅射有三个条件 1、它具有适合的放电气压P:DC或脉冲,如果是磁控管放电,约0.1pA~10Pa),典型值为5x10-1pA;射频磁控管放电约为10-1~10-2Pa。 2、其次,磁控管靶具有一定水平(或等效水平)的磁场强度B(约10MT~100MT),典型值为30~50mt,较小值为...
【行业动态 】
浅析磁控溅射技术的优点
2022-09-19
磁控溅射技术的优点都有啥?临沂双成电源科技有限公司简单介绍一下。磁控溅射镀膜是现代工业中不能缺少的技术之一。溅射镀膜技术较广的应用于透明导电膜、光学膜、超硬膜、防腐膜、磁性膜、减反射膜、减反射膜及各装饰膜。在国防和国民经济生产中发挥着越来越重要的作用。镀膜过程中的膜厚均匀性、沉积速率和靶材利用率等问题是实...
【行业动态 】
磁控溅射技术的优点和缺点分析
2022-08-23
临沂双成电源科技有限公司
【行业动态 】
磁控溅射一定要求靶材表面抛光吗
2022-07-23
磁控溅射过程中,等离子体的离子撞击靶材,溅射出靶材的原子、原子团、离子、电子、光子等,原子、离子、原子团沉积到基材上形成薄膜。溅射发生在靶材表面,靶材表面物理状态不均匀也没有关系,溅射的时候会先溅射凸起,溅射时间长了,靶材自己就平了。所以物理不均匀的状态不需要抛光。溅射过程不影响靶材合金、混合材质的比例和性质,所以如果...
【行业动态 】
磁控溅射的工作原理
2022-06-27
磁控溅射是物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点,而上世纪 70 年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射,必须有效地提高气体的...
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