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  • 临沂双成电源科技有限公司
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  • 临沂双成电源科技有限公司的工作人员告诉大家,磁控溅射是物理气相沉积的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射,必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶...
  • 为了解决阴极溅射的缺陷,人们在20世纪70年代开发出了磁控溅射镀膜仪,它有效地克服了阴极溅射速率低和电子使基片温度升高的弱点,由于被溅射原子是与具有数十电子伏特能量的正离子交换动能后飞溅出来的,因而溅射出来的原子能量高,有利于提高沉积时原子的扩散能力,提高沉积组织的致密程度,使制出的薄膜与基片具有强的附着力,因而获得了...
  • 临沂双成电源科技有限公司的工作人员告诉大家磁控溅射镀膜的原理是在电场的作用下,由异常辉光放电产生的等离子体被轰击在阴极靶的表面上,并且靶表面上的分子,原子,离子和电子被溅射并溅起。所发射的颗粒具有一定的动能,并且沿一定的方向被导向基板的外表面,以在基板的表面上形成镀层。溅射涂层开始表现出简单的直流偶极溅射。其优点是设备...